產(chǎn)品型號

  高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

主要特點

  1、爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60°。

  2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長使用　           壽命。

  3、設有三個溫區(qū)，可獨立控溫，可設置50段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。

  4、供氣系統(tǒng)與真空機組置于移動架內(nèi)，方便移動。

  5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start” 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動（隔膜泵先啟動，待真空度達到10^-2

        mbar后分子泵自動啟動）。

  6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率。

  7、已通過CE認證。

技術參數(shù)

  管式爐

  1、電源：AC 208-240V單相   50/60Hz  7KW

  2、爐管：高純石英管，外徑Φ100mm×內(nèi)徑Φ92mm×1400mm

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

  4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長220mm，溫區(qū)II長440mm，溫度III長220mm，總長880mm

  5、恒溫區(qū)：500mm（三個溫區(qū)設為同一溫度時）

  6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升溫速率：≤20℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、熱電偶：3根K型熱電偶

  高真空機組

  1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換  50/60Hz

  2、消耗功率：110W

  3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm

  4、zui大承重量：270kg

  5、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

  6、工作范圍：1000mbar-<10^-7mbar

  7、極限真空度：10^-5torr

  8、數(shù)字式真空顯示計：10^-8mbar-10³mbar

  質量流量混氣系統(tǒng)

  1、質量流量計：9通道精密質量流量計

  2、流量計范圍：10-1000sccm三個，20-200sccm三個，30-10sccm三個

  3、壓力表：3個，用來檢測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機組600mm×600mm×700mm，質量流量混氣系統(tǒng)600mm×600

              mm×700mm

  重量：100kg

真空配件

1

  不銹鋼真空密封法蘭

2個

2

  精密針閥

2個

3

  1/4″軟管接頭

1個

4

  高溫硅膠O型密封圈（zui高可承受300℃）

6個

5

  氧化鋁管堵

1套

6

  KF-40真空波紋管

1根

7

  KF-40快速卡箍

3個

8

  KF-25卡箍

2個

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計